Les moteurs harmoniques sont devenus des composants indispensables dans les équipements à semi-conducteurs

Les entraînements harmoniques sont largement utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs, avec leur haute précision, leur faible contre-effet, leur conception compacte et leur fiabilité élevée,Les entraînements harmoniques sont devenus des composants indispensables dans les équipements à semi-conducteursDu transfert des plaquettes et de la photolithographie à la gravure, l'emballage et l'inspection, les entraînements harmoniques fournissent un contrôle précis du mouvement.amélioration de l'efficacité de la production et assurance de la qualité des produits dans la fabrication de semi-conducteurs.

Équipement de transfert de plaquettes

Dans la fabrication de semi-conducteurs, les équipements de transfert de plaquettes nécessitent un contrôle de mouvement très précis et stable.sont largement utilisés dans les robots de transfert et de manutention de plaquettesCes robots doivent transférer efficacement et avec précision des plaquettes dans des espaces confinés, et les entraînements harmoniques assurent un mouvement en douceur et sans vibration.

Machines de photolithographie

Les machines de photolithographie sont des équipements essentiels dans la fabrication de semi-conducteurs, nécessitant une précision extrêmement élevée.les entraînements harmoniques sont largement utilisés dans les systèmes d'alignement et les plates-formes de balayage des machines de photolithographieCette précision assure l'alignement et l'exposition précis des motifs sur les wafers, améliorant la qualité et le rendement de fabrication des puces.

Équipement de gravure

L'équipement de gravure est utilisé pour créer de minuscules structures de circuits sur les surfaces des plaquettes, ce qui nécessite un contrôle extrêmement précis des paramètres du processus.Les entraînements harmoniques dans ces appareils entraînent des composants de mouvement précis pour assurer un contrôle stable et uniforme du processus de gravure, assurant une grande précision du processus.

Équipement d'inspection et de mesure

Au cours de la production de semi-conducteurs, l'inspection et la mesure sont essentielles pour assurer la qualité du produit.et appareils d'essai des propriétés électriquesLa grande répétabilité des entraînements harmoniques assure la précision et la fiabilité de ces systèmes d'inspection.

Applications dans l'environnement sous vide

Certains procédés de semi-conducteurs, tels que le revêtement et le dépôt des plaquettes, doivent être effectués dans un environnement à vide élevé.et capacité à fonctionner sans lubrification à l'huileEn effet, les entraînements harmoniques sont particulièrement adaptés aux environnements sous vide, ce qui les rend largement utilisés dans les équipements de traitement sous vide.

Équipement d'emballage

Les équipements d'emballage à semi-conducteurs, utilisés pour emballer des puces sur des supports, nécessitent des opérations rapides et précises.Les caractéristiques de réponse dynamique élevée et de faible contre-réaction des entraînements harmoniques permettent un contrôle précis des mouvements mécaniques complexes des équipements d'emballage, assurant une efficacité et un rendement élevés dans le processus d'emballage.

Équipement de polissage et de meulage

Dans les processus de fabrication des plaquettes, le polissage et le broyage sont des étapes cruciales.assurer la précision mécanique lors des processus de polissage et de broyage, ce qui améliore la planéité et la qualité de la surface de la gaufre.

Applications dans les lignes de production automatisées

Les entraînements harmoniques sont également utilisés dans diverses étapes des lignes de production de semi-conducteurs automatisés, y compris les bras robotiques, les bandes transporteuses et les équipements d'assemblage.Leur efficacité et leur fiabilité améliorent les niveaux d'automatisation sur toute la chaîne de production, réduisant les interventions manuelles et les taux de défaillance.